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董景新
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期刊论文
一种叉齿式微硅加速度计的设计与分析
宇航学报，2002，23（1）：83～86，-0001，（）：
摘要/描述
本文介绍了一种适合军民两用市场的、中低精度的叉齿式微硅加速度计的设计和仿真，其敏感轴平行于检测质量平面，微结构梁采用了折叠梁结构。对这种加速度计的结构参数进行了理论设计和优化选择，利用Ansys结构分析软件重点研究了折叠梁结构参数对加速度计固有谐振频率和力学特性的影响。最后给出了一个符合仪表性能要求的微加速度计，其中心摆片大小为1.6mm×1.0mm，量程为25g，分辨率为0.5×10-3g。
【免责声明】以下全部内容由[董景新]上传于[2011年04月18日 10时11分43秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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