三维一体化超微定位系统性能的研究，成果详细信息-中国科技论文在线

胡小唐

期刊论文

三维一体化超微定位系统性能的研究

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摘要/描述

本文提出了一种以双柔性平行四杆结构和柔性八杆对称联动结构为导向机构、压电陶瓷为驱动器的三维一体化超微定位机构。针对高精度定位的需要，设计了数字闭环控制系统，引入数字 PID模糊控制器以提高系统的定位性能。

关键词: 3D monolithic ultra-micropositioning, ， Double flexure parallel four-bar mechanism, ， Flexure eight-bar symmetric linkage mechanism, ， Piezoelectric actuator, ， PID fuzzy controller

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