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王占山
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期刊论文
13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制*
强激光与粒子束，2004，16（9）：1089～1091，-0001，（）：
摘要/描述
基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则！设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜，用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm，厚10nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜，实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级，同步辐射反射率计测试表明，分束镜的反射率和透射率乘积约4%。
【免责声明】以下全部内容由[王占山]上传于[2004年12月29日 18时35分49秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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