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期刊论文
几种新型集成硅微(型)传感器系统*
光学精密工程,1996,4(1):25~28,-0001,():
介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺。
【免责声明】以下全部内容由[温志渝 ]上传于[2005年03月08日 00时14分26秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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