提示
肖夏
-
60浏览
-
0点赞
-
0收藏
-
0分享
-
51下载
-
0评论
-
引用
期刊论文
表面波表征ULSI互连布线双层薄膜机械特性的理论计算
电子学报，2006，34（5）：774～777，-0001，（）：
利用超声表面波在分层结构中传播的频散特性来测量薄膜的机械特性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点，本文研究了在Si（100）衬底上淀积双层薄膜的分层结构中超声表面波沿Si[110]晶向传播的速度-频率色散关系，应用此方法对超大规模集成电路（ULSI）中具有质软、易碎特点的低介电常数互连介质（low2k）薄膜的机械特性进行了表面波频散计算。研究了先进ULSI互连布线系统中广泛存在的3种分层薄膜结构上表面波的频散特性，计算表明不同分层结构对表面波的频散特性影响很大，对于同一分层结构，表面波的频散曲率随low2k薄膜杨氏模量的减小而显著增大，本工作为准确测定low2k薄膜的杨氏模量提供了理论计算依据。
【免责声明】以下全部内容由[肖夏]上传于[2010年07月29日 17时57分39秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
本学者其他成果
同领域成果
