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徐家云
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期刊论文
α粒子能损法测量薄膜厚度的准确性和灵敏度
原子能科学技术，2005，39（6）：495～497，-0001，（）：
摘要/描述
采用分层计算方法分析用α粒子能损法测量薄膜厚度的准确性与分层层数的关系。此关系表明。采用分层计算可使准确胜提高30%。另外。分析了膜厚测量的灵敏度随α粒子能量或随薄膜厚度的变化关系，并根据这一关系提出了提高膜厚测量灵敏度的方法。
【免责声明】以下全部内容由[徐家云]上传于[2011年06月02日 11时39分01秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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