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张之江

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期刊论文

高精度平面度测量方法的研究

张之江于瀛洁张善钟

计量学报,2000,21(2):119~124,-0001,():

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摘要/描述

本文以中等尺寸000级平板为研究对象.采用双频激光测量系统的直线度测量部件进行平面度测量.分析计算了这一测量方法的测量不确定度.并进行了实际测试。理论分析和测试结果表明.这一方法的测量不确定度及其重复采样点偏差值的重合度可以满足中等尺寸000级平板的测量要求。

【免责声明】以下全部内容由[张之江]上传于[2011年05月03日 10时45分23秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。

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