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赵辉
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期刊论文
小孔径超精测量方法的研究
《激光杂志》2000，21（6）：28～29，-0001，（）：
摘要/描述
孔径的超精测量，一直是长度计量中的难点。本文提出一种采用双频激光干涉技术和微位移微瞄准技术实现的小孔孔径超精测量系统，可在8～50mm的范围内实现0.01μm 的分辨力和0.1μm的测量精度，为国际领先水平。该方法已成功应用在惯性仪表零件孔径及垂直度的超精测量中，达到了满足的效果。
【免责声明】以下全部内容由[赵辉]上传于[2011年04月25日 14时26分49秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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