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期刊论文
压电器件在微位移系统中的应用
压电与声光,2000,22(4):244~252,-0001,():
提出了一种采用压电陶瓷器件实现微位移系统的方法,可在10μm内实现0.01μm的微动分辨力。该方法已成功应用在惯性仪表零件小孔径的亚微米超精测量系统中,达到了满意的效果。
【免责声明】以下全部内容由[赵辉]上传于[2011年04月25日 14时27分48秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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