提示
赵辉
-
51浏览
-
0点赞
-
0收藏
-
0分享
-
101下载
-
0评论
-
引用
期刊论文
双频激光在超精孔径测量中的应用*
光学技术，2000，26（5）：435～436，-0001，（）：
摘要/描述
一种以激光波长为基准的小孔孔径超精测量系统，采用双频激光干涉技术、温度误差实时修正技术和符合阿贝原则的合理布局，在8mm～50mm的范围内实现0.01μm的分辨力和0.1μm的测量精度。该方法已成功应用在惯性仪表零件孔径及垂直度的超精测量中。
【免责声明】以下全部内容由[赵辉]上传于[2011年04月25日 14时28分06秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
我要评论
全部评论
共 0 条
本学者其他成果
同领域成果
