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期刊论文
超精瞄准定位系统的研究
计量学报,1997,18(2):81~84,-0001,():
本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究,在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达0.03μm的瞄准定位精度。
【免责声明】以下全部内容由[赵辉]上传于[2011年04月25日 14时28分26秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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