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赵新
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期刊论文
虚拟MEMS加工工艺的定义、关键技术与实现框架①
高技术通讯，2004：65～69，-0001，（）：
摘要/描述
首先提出了虚拟MEMS加工工艺的概念，它是利用图形动态生长，来模拟每步工艺过程，整个工艺过程中形状变化均包含在虚拟工艺中。其次，分析了实现虚拟工艺所涉及的关键技术：工艺描述、工艺模型和加工过程的可视化。第三，给出了基于专家系统技术的虚拟工艺实现框架。最后，实现了一种表面硅工艺的例子，初步验证了实现框架时间和精确度的可行性。
【免责声明】以下全部内容由[赵新]上传于[2010年03月19日 17时59分53秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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