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赵新
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期刊论文
虚拟MEMS加工工艺建模、实现与系统验证①
高技术通讯，2005，15，（1）：27～31，-0001，（）：
摘要/描述
利用虚拟现实技术对MEMS加工工艺进行仿真，并将其引入设计环节，最终可以解决MEMS生产中设计与加工脱节的问题。MEMS加工工艺的核心是工艺模型。首先，在深入分析单步MEMS加工工艺的基础上给出了规则描述的工艺模型，其次，利用专家系统技术实现了系统。进一步用一种全新的器件微流量泵的工艺设计和虚拟加工过程验证了系统的可扩充性。
【免责声明】以下全部内容由[赵新]上传于[2010年03月19日 18时00分10秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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