基于C-MEMS的纳米线的制备及其热电性能的研究方法

徐亮亮; 习爽; 刘丹; 龙胡; 汤自荣

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基于C-MEMS的纳米线的制备及其热电性能的研究方法

首发时间：2012-01-19

徐亮亮 ^{1
2}
徐亮亮，（1988-），男，硕士研究生，微纳结构的制备与研究。
习爽 ^{1
2}
习爽（1988-），女，硕士研究生，微纳结构的制备与研究
刘丹 ^{1
2}
刘丹（1986-），男，硕士研究生，微纳结构的制备与研究
龙胡 ^{1
2}
龙胡（1989-），男，硕士研究生，微纳结构的制备与研究
汤自荣 ^{1
2}
汤自荣（1968-），男，副教授，主要从事光电材料与微纳加工的研究

1、华中科技大学机械学院，武汉 430074
2、武汉光电国家实验室，武汉 430074

摘要：大量的理论和实验证明，低维化能提高材料的热电性能。通过研究发现氮氧硅纳米线可能具有良好的热电性能。本文主要介绍了基于C-MEMS的硅纳米线的制备方法及工艺，并介绍了纳米材料的热电性能的研究方法。其中包括纳米薄膜的电导率的检测，以及Seebeck系数的测量。进行对氮氧硅纳米线在热电性能方面的研究以希望开发出新的热电材料。

关键词：半导体技术 C-MEMS 纳米结构热电性能热电材料

For information in English, please click here

Large-scale Synthesis and characterization methods of the nanowires based on C-MEMS

XU Liangliang ¹
徐亮亮，（1988-），男，硕士研究生，微纳结构的制备与研究。
XI Shuang ²
习爽（1988-），女，硕士研究生，微纳结构的制备与研究
LIU Dan ³
刘丹（1986-），男，硕士研究生，微纳结构的制备与研究
LONG Hu ⁴
龙胡（1989-），男，硕士研究生，微纳结构的制备与研究
TANG Zirong ³
汤自荣（1968-），男，副教授，主要从事光电材料与微纳加工的研究

1、Mechanical ,Huazhong university of science and technology, WuHan 430074
2、Wuhan National Laboratory For Optoelectronics,Wuhan 430074
3、Mechanical ,Huazhong university of science and technology,Wuhan 430074
4、 Wuhan National Laboratory For Optoelectronics,Wuhan 430074

Abstract：Large number of theoretical and experimental show that low-dimensional technology can improve the thermoelectric properties of materials.We found SiNXOY nanowires is a potential thermoelectric material.This article describes the growth of the silicon nanowires based on C-MEMS and introduces the methods to obtain the thermoelectric properties(conductivity and the Seebeck coefficient) of nanomaterials.Further research will be taken of SiNXOY nanowires on thermoelectric performance to synthesize a new potential thermoelectric material.

Keywords： semiconductor C-MEMS nanostructure thermoelectric performance thermoelectric materials

基金：

1. 高等院校博士学科点专项科研基金（20080471151）

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徐亮亮，习爽，刘丹，等. 基于C-MEMS的纳米线的制备及其热电性能的研究方法[EB/OL]. 北京：中国科技论文在线 [2012-01-19]. https://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201201-733.

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论文编号	201201-733
论文题目	基于C-MEMS的纳米线的制备及其热电性能的研究方法
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