130nm体硅SRAM和SOI SRAM器件单粒子翻转3D模拟与分析

李永宏; 赵耀林; 唐杜; 贺朝会

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130nm体硅SRAM和SOI SRAM器件单粒子翻转3D模拟与分析

首发时间：2012-01-31

李永宏 ¹
李永宏（1977-），男，博士研究生，研究主要方向：半导体器件辐射效应
赵耀林 ¹
赵耀林（1976-），男，讲师，主要研究方向：核辐射测量、加速器质谱分析
唐杜 ¹ 贺朝会 ¹

1、西安交通大学核科学与技术学院，西安 710049

摘要：用半导体数值模拟软件Sentaurus TCAD构建了特征尺寸为130nm的体硅SRAM（Static Radom Access Memory）器件和SOI SRAM（Silicon On Insulator SRAM）器件的3D模型，对这两种SRAM器件的单粒子翻转LET阈值进行了数值模拟。结果表明，SOI SRAM器件单粒子翻转LET阈值约为3.67MeVocm^2/mg，比体硅SRAM器件重离子单粒子翻转LET阈值2.17 MeVocm^2/mg高，说明在特征尺寸为130nm尺度下，SOI SRAM器件抗单粒子翻转性能比体硅SRAM器件好；在这两种SRAM器件发生单粒子翻转的LET阈值附近，瞬态脉冲电流尾部均出现了异常增大现象，对其机理进行了分析。

关键词： SRAM 体硅技术 SOI技术单粒子翻转 LET阈值

For information in English, please click here

3D Simulations of Single Event Effects in 130nm Bulk and SOI SRAM

LI Yonghong ¹
李永宏（1977-），男，博士研究生，研究主要方向：半导体器件辐射效应
ZHAO Yaolin ¹
赵耀林（1976-），男，讲师，主要研究方向：核辐射测量、加速器质谱分析
TANG Du ¹ HE Chaohui ¹

1、School of Nuclear Science and Technology, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049

Abstract： 3D simulations of Single Event Upset（SEU）in 130nm bulk and SOI SRAM were performed with Sentaurus TCAD. The SEU LET thresholds of these two SRAMs were obtained. The LET threshold of SEU of SOI SRAM is about 3.67MeVocm^2/mg, higher than that of bulk SRAM, 2.17MeVocm^2/mg, indicating the SOI SRAM is better than bulk SRAM against SEU. Abnormal increases at the end of the transient current induced by heavy ion were observed when the LETs of incident ions were close to the SEU LET thresholds. The mechanism was proposed and analyzed.

Keywords： SRAM Bulk Silicon Technology SOI Technology SEU LET Threshold

基金：

1. 教育部新教师基金（200806981010）

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李永宏，赵耀林，唐杜，等. 130nm体硅SRAM和SOI SRAM器件单粒子翻转3D模拟与分析[EB/OL]. 北京：中国科技论文在线 [2012-01-31]. http://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201201-860.

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论文编号	201201-860
论文题目	130nm体硅SRAM和SOI SRAM器件单粒子翻转3D模拟与分析
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