具有ITO和IZO叠层结构的低粗糙度和易刻蚀的透明导电氧化物

徐华; 兰林锋; 徐苗; 罗东向; 李民; 肖鹏; 姚日晖; 彭俊彪

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Low-roughness and easily-etched transparent conducting oxides with a stack structure of ITO and IZO

首发时间：2013-04-03

Xu Hua ¹
Xu Hua, Male, postgraduate student, electronics, physics.
Lan Linfeng ¹
Lan Linfeng, Male, associate professor, electronics, physics
Xu Miao ¹ Luo Dongxiang ¹ Li Min ¹
Li Min, Male, postgraduate student, electronics, physics
Xiao Peng ¹ Yao Rihui ¹ Peng Junbiao ¹

1、State Key Laboratory of Luminescent Materials and Devices, South China University of Technology, Guangzhou 510640

Abstract：Indium tin Oxide (ITO) thin film is hard to be etched in wet etchants because of the crystalline state. To obtain easily-etched transparent conductor oxide (TCO), a layer of ultra-thin indium-zinc oxide (IZO) was inserted between ITO films. It was found that the as-deposition TCO film with IZO insertion layers was amorphous and easily-etched by oxalic. Furthermore, the surface roughness of this multilayer TCO film was only 0.52 nm, much lower than that of the ITO monolayer film with the same thickness. After annealing at 250 degree in air, a low sheet resistance of ~10 Ω/□ and a reasonably transmittance of ~85% in visible range film were obtained.

keywords： transparent conducting oxide ITO-IZO multilayer film easily-etched

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具有ITO和IZO叠层结构的低粗糙度和易刻蚀的透明导电氧化物

徐华 ¹
Xu Hua, Male, postgraduate student, electronics, physics.
兰林锋 ²
Lan Linfeng, Male, associate professor, electronics, physics
徐苗 ² 罗东向 ³ 李民 ²
Li Min, Male, postgraduate student, electronics, physics
肖鹏 ³ 姚日晖 ² 彭俊彪 ²

1、华南理工大学，发光材料与器件国家重点实验室，广州 510640
2、State Key Laboratory of Luminescent Materials and Devices, South China University of Technology, Guangzhou 510640
3、发光材料与器件国家重点实验室，华南理工大学，广州 510640

摘要：ITO薄膜因为易结晶而难以被刻蚀。为了获得易刻蚀的透明导电薄膜，使用一层极薄的IZO薄膜插入ITO薄膜之间。实验表明这种复合薄膜是非晶态的，它在草酸溶液中就能被刻蚀，而且这种薄膜的表面粗糙度只有0.52nm，远小于同样厚度的单层IZO薄膜。经过250度退火后，这种复合薄膜显示出低方块电阻（~10 Ω/□）和良好的可见光透过性（~85%）。

关键词：透明导电氧化物 ITO-IZO多层复合薄膜易刻蚀

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Xu Hua,Lan Linfeng,Xu Miao,et al. Low-roughness and easily-etched transparent conducting oxides with a stack structure of ITO and IZO[EB/OL]. Beijing:Sciencepaper Online[2013-04-03]. https://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201304-115.

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论文编号	201304-115
论文题目	具有ITO和IZO叠层结构的低粗糙度和易刻蚀的透明导电氧化物
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