低应力、高弹性、较高硬度的含氢碳膜

王琦; 贺德衍; 张俊彦

0
0
浏览
下载

摘要
关键词
基金信息
论文图表
同行评议
相关论文
评论

A low-stress, elastic and improved hardness hydrogenated amorphous carbon film

首发时间：2013-08-02

Wang Qi ¹
Wang Qi,(1981-),male,Lecturer,Carbon based materials and ion based devices.
He Deyan ² Zhang Junyan ³

1、School of Physics, Lanzhou University, LanZhou 730000
2、School of Physics, Lanzhou University, Lanzhou 730000
3、State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Lanzhou 730000

Abstract：The evolution of hydrogenated amorphous carbon films with fullerene-like microstructure was investigated with the proportion of hydrogen in introduction. The results showed that the films deposited at hydrogen flow rate 50sccm exhibited lower compressive stress (lower 48.6%), higher elastic recovery (higher 19.6%, near elastic recovery rate 90%) and higher hardness (higher 7.4%) than the films deposited without hydrogen introduction. Structural analysis showed the film had relatively high sp2 content and low bonded hydrogen content possessed high hardness, elastic recovery rate and low compressive stress. It was attributed to the curved graphite microstructure, which can form three-dimensional covalently bonded network.

keywords： microstructure coatings mechanical properties X-ray photo-emission spectroscopy (XPS)

点击查看论文中文信息

低应力、高弹性、较高硬度的含氢碳膜

王琦 ¹
Wang Qi,(1981-),male,Lecturer,Carbon based materials and ion based devices.
贺德衍 ² 张俊彦 ³

1、兰州大学物理科学与技术学院，兰州 730000
2、兰州大学物理科学与技术学院，兰州　７３００００
3、中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，兰州　７３００００

摘要：研究了不同氢气流量下制备的含fullerene-like微结构氢化碳膜的结构和机械性能，并探讨了fullerene-like微结构含量和机械性能之间的关系。实验发现，相对于无氢气辅助沉积的样品,在氢气流量50 sccm沉积的样品表现出较低的压应力 (低48.6%)、高的弹性恢复(高19.6%,弹性恢复系数接近90%)和较高的硬度(高7.4%)。当氢气流量小于50sccm时，样品中fullerene-like含量随氢气流量增加而增加，薄膜具有较好的机械特性。薄膜中低的氢含量有利于fullerene-like结构的形成。当氢气流量为100sccm时，大量孔隙的形成导致样品结构松散，机械性能变差。结构分析表明薄膜包含相对高的sp2含量和低的氢含量是薄膜高硬度、弹性恢复率和较低压应力的起因。

关键词：非晶碳膜类富勒烯机械性能

基金：

1. The project was financially supported by the Ph.D. Programs Foundation of Ministry of Education of China （No. 20100211120017）

论文图表：

引用

导出参考文献

.txt

.ris

.doc

Wang Qi,He Deyan,Zhang Junyan. A low-stress, elastic and improved hardness hydrogenated amorphous carbon film[EB/OL]. Beijing:Sciencepaper Online[2013-08-02]. https://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201308-26.

No.****

同行评议

共计0人参与

全部评论

0/1000

论文编号	201308-26
论文题目	低应力、高弹性、较高硬度的含氢碳膜
文献类型
收录期刊	上传封面中文期刊英文期刊期刊名称（中文）期刊名称（英文）年，卷（）上传封面中文专著英文专著书名（中文）书名（英文）出版地出版社出版年上传封面中文译著英文译著书名（中文）书名（英文）出版地出版社出版年上传封面中文论文集英文论文集编者.论文集名称（中文） [c]. 出版地出版社出版年， - 编者.论文集名称（英文） [c]. 出版地出版社出版年，- 上传封面中文文献英文文献期刊名称（中文）期刊名称（英文）日期-- 在线地址http:// 上传封面中文文献英文文献文题（中文）文题（英文）出版地出版社,出版日期-- 上传封面中文文献英文文献文题（中文）文题（英文）出版地出版社,出版日期--
英文作者写法：中外文作者均姓前名后，姓大写，名的第一个字母大写，姓全称写出，名可只写第一个字母，其后不加实心圆点“.”, 作者之间用逗号“，”分隔，最后为实心圆点“.”, 示例1：原姓名写法：Albert Einstein,编入参考文献时写法：Einstein A. 示例2：原姓名写法：李时珍；编入参考文献时写法：LI S Z. 示例3：YELLAND R L,JONES S C,EASTON K S,et al.