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论文编号 201411-76
论文题目 化学机械抛光中晶圆/抛光垫表面接触分析
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化学机械抛光中晶圆/抛光垫表面接触分析

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杜诗文

杜诗文,女,1975年生,副教授,博士,主要研究方向为金属材料的成形理论与技术.

蒋名国

郑光锋

杨雯

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金属材料成形理论与技术山西省重点实验室,太原科技大学材料科学与工程学院,太原 030024

摘要:基于接触力学和流体动力学理论分析了抛光过程中的摩擦学行为,建立了简化的化学机械抛光过程中的有限元模型。通过工艺参数、材料参数、抛光液性能等参数的改变,得到晶圆表面接触应力、接触应力变化率、VonMises应力的分布规律。分析了工艺参数和材料性能对晶圆表面材料去除非均匀性的影响。

关键词: 化学机械抛光 接触分析 有限元方法

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