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论文编号 201611-350
论文题目 利用X射线光电子能谱对铁掺杂碳膜的阻变机理研究
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利用X射线光电子能谱对铁掺杂碳膜的阻变机理研究

首发时间:2016-11-25

周家伟 1   

周家伟(1991- ),男,硕士研究生,主要研究方向为碳膜阻变现象

张淑玮 1    张电 1    李泰然 1    任兵 1    汪琳 1   

汪琳(1979- ),女,副教授,主要研究方向为磁性材料

王林军 1   
  • 1、上海大学材料科学与工程学院,上海,200444

摘要:本文在以磁控溅射方法制备的铁掺杂碳膜中观察到了可重复的,稳定性高的阻变效应,该薄膜被用于制备Pt/Al/Fe-C/Au/Ti结构的非易失性存储单元。利用XPS对不同膜层厚度中各种元素进行分析,结果显示,同一阻变单元高阻态和低阻态相比,氧离子在电场的作用下来回迁移导致了高低阻态的转换。

关键词: 材料学 铁碳薄膜 阻变效应 XPS

For information in English, please click here

Resistive switching machanism of Fe doped carbon films studied by X-ray photoelectron spectroscopy

ZHOU Jiawei 1   

周家伟(1991- ),男,硕士研究生,主要研究方向为碳膜阻变现象

ZHANG Shuwei 1    ZHANG Dian 1    LI Tairan 1    REN Bing 1    WANG Lin 1   

汪琳(1979- ),女,副教授,主要研究方向为磁性材料

WANG Linjun 1   
  • 1、School of materials science and engineering, Shanghai University, Shanghai, 200444

Abstract:In this paper, reproducible and reliable resistive switching is observed in Fe-C thin films which prapared by DC magnetron sputtering. And these films were used to fabricated nonvolatility Pt/Al/Fe-C/Au/ Ti structure cells.To analysis the elements in defferent depth though X-ray photoelectron spectroscopy-XPS, results indicate that in the same memory cell, the migration of oxygen ion caused the resistive switching of cells.

Keywords: materials science Fe-C thin films resistive switching effect XPS

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周家伟,张淑玮,张电,等. 利用X射线光电子能谱对铁掺杂碳膜的阻变机理研究[EB/OL]. 北京:中国科技论文在线 [2016-11-25]. http://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201611-350.

No.4710462117023514****

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