基于SOI结构的光波导表面光滑化机理

周佳玲; 任馨宇; 张文栋

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基于SOI结构的光波导表面光滑化机理

首发时间：2017-05-22

周佳玲 ^{1
2}
周佳玲（1991-），女，硕士，电子与通信工程，主要研究方向：贵金属微纳传感器的制备与应用.
任馨宇 ^{1
2} 张文栋 ^{1
2}
张文栋（1962-），男，教授，博导，研究方向主要为动态测试技术、微纳机电系统(MEMS与NEMS ).

1、太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心，山西太原 030024
2、太原理工大学，新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室，山西太原 030024

摘要：运用Material Studio软件对氢退火过程中硅氢键对硅基光波导表面粗糙形貌的作用进行了系统研究。通过对表面结构特性参数（如均方根位移、扩散系数等）的模拟分析，阐释了硅氢键的个数和位置对硅表面结构的影响。结果表明：硅氢键的形成是改善波导粗糙表面形貌的关键因素，能够有效降低退火温度、提高退火质量。

关键词：硅氢键氢退火光波导 Material Studio

For information in English, please click here

Smoothing mechanism of optical waveguide surface based on silicon on insulator structure

ZHOU Jialing ¹
周佳玲（1991-），女，硕士，电子与通信工程，主要研究方向：贵金属微纳传感器的制备与应用.
REN Xinyu ² ZHANG Wendong ¹
张文栋（1962-），男，教授，博导，研究方向主要为动态测试技术、微纳机电系统(MEMS与NEMS ).

1、Taiyuan University of Technology, School of Information Engineering, Micro-Nano System Research Center, Taiyuan, Shanxi, China, 030024
2、 Taiyuan University of Technology, School of Information Engineering, Key Lab of Advanced Transducers and Intelligent Control System of the Ministry of Education, Taiyuan, Shanxi, China, 030024

Abstract：The role of silicon-hydrogen bond in the hydrogen annealing process is investigated systematically by using Material Studio software. Based on the sinulation and analysis of surface characteristic parameters(such as mean square displacement, diffusion coefficient, etc.), we illustrate the relationship between the surface structure and the number and position of silicon-hydrogen bond. The data strongly suggest that silicon-hydrogen bond is the critical factor to ameliorate the rough surface morphology of waveguide, which can effectively reduce the annealing temperature and improve the quality of annealing.

Keywords： Silicon-hydrogen bond Hydrogen annealing Waveguide Material Studio

基金：

1. 高等学校博士学科点专项科研基金（20131402110013）

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周佳玲，任馨宇，张文栋. 基于SOI结构的光波导表面光滑化机理 [EB/OL]. 北京：中国科技论文在线 [2017-05-22]. https://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201705-1238.

No.4733726120104514****

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论文编号	201705-1238
论文题目	基于SOI结构的光波导表面光滑化机理
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