杜诗文,蒋名国,郑光锋,等. 化学机械抛光中晶圆/抛光垫表面接触分析[EB/OL]. 北京:中国科技论文在线 [2014-11-05]. http://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201411-76. 此文件来自 中国科技论文在线 请勿作用于商业用途!