张静怡,黄其煜. 某国产DRIE干刻反应腔外聚焦环表面粗糙度对颗粒数目影响的机理研究[EB/OL]. 北京:中国科技论文在线 [2018-08-29]. http://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201808-55. 此文件来自 中国科技论文在线 请勿作用于商业用途!