杨远程,黎明. 单片三维集成中的关键工艺和器件技术 [EB/OL].北京:中国科技论文在线 [2017-05-04].http://www.paper.edu.cn/releasepaper/content/201705-742. 此文件来自 中国科技论文在线 请勿作用于商业用途!