飞秒激光在硅中诱导三维微通道

石旭,李存霞,司金海,陈涛,侯洵

2009-07-14

本文介绍了利用飞秒激光脉冲在硅中诱导微通道。利用位于硅吸收波段的800 nm波长的飞秒激光在硅样品中诱导出多层微通道。采用激光横向和纵向扫描的方法，可以在不破坏硅样品表面的情况下，在其内部构造出三维

高等学校博士学科点专项科研基金（200806980022）

西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系,西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系,西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系,西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系,西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系

#电子、通信与自动控制技术#

电子复合率对飞秒激光大气传输的影响

亓协兴,林文斌

2015-09-22

飞秒激光脉冲在大气中传输所产生的"光丝"现象受到越来越多的关注。本文采用含有高阶克尔的传输模型，通过改变初始脉冲的周期（100fs、300fs）和大气压强（1 atm、2atm），对比包含电子复合

高等学校博士学科点专项科研基金（20110184110016）

西南交通大学物理科学与技术学院，成都　610031,西南交通大学物理科学与技术学院，成都　610031

#物理学#

飞秒激光干涉场用于数字全息记录的分析

石炳川,王晓雷

2013-03-07

本文通过计算机模拟研究了具有时域和空域高斯分布的飞秒激光脉冲的干涉场及其在飞秒数字全息技术中的应用。根据高斯脉冲的数学形式构建了两光束干涉的模型，并通过计算得到了二维干涉场的分布。在此基础之上，基于

高等学校博士学科点专项科研基金（编号20090031120041）

南开大学现代光学研究所，天津，300071,南开大学现代光学研究所，天津，300071

#电子、通信与自动控制技术#

多层石墨烯在飞秒激光作用下的损伤

裴家云,吴鑫,严冬,赵海燕

2016-03-31

使用飞秒激光对化学气相沉积(CVD)法制备的多层石墨烯进行辐照，得到了多层石墨烯的单脉冲破坏阈值为0.22 mW；利用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对加工前、后的试样进行表征，阐述了飞

高等学校博士学科点专项科研基金资助项目（20130002110088）

北京市自然科学基金资助项目（3142010）

清华大学摩擦学国家重点实验室自主研究课题（SKLT2014A03）

清华大学机械工程系，北京100084；清华大学摩擦学国家重点实验室，北京 100084,清华大学机械工程系，北京100084；清华大学摩擦学国家重点实验室，北京 100084,清华大学机械工程系，北京100084；清华大学摩擦学国家重点实验室，北京 100084,清华大学机械工程系，北京100084；清华大学摩擦学国家重点实验室，北京 100084

#机械工程#

本文收录在中国科技论文，2015，10（22）：2585-2587.

飞秒激光写入Nd:CaF2晶体制备表面包层光波导

李让,路庆明,聂伟杰,尚震,程晨,Javier R. Vazquez de Aldana,陈峰

2016-06-03

本文通过飞秒激光写入Nd:CaF2晶体，构建了表面包层波导结构，研究了包括飞秒激光写入能量、波导结构的大小和波导结构距材料上表面的距离在内的三种重要参数的影响。在波长为632.8nm、TE偏振方向的

高等学校博士学科点专项科研基金（优先发展领域）（20130131130001）

山东大学物理学院，济南 250100,山东大学化学与化工学院，济南 250100,山东大学物理学院，济南 250100,山东大学物理学院，济南 250100,山东大学物理学院，济南 250100,萨拉曼卡大学应用物理系，西班牙 37008,山东大学物理学院，济南 250100

#物理学#

纳焦飞秒激光刻划微光器件的应用研究

倪晓昌,王清月,梁建国,柴路,贾威,章若冰

2005-02-06

使用振荡器产生的飞秒激光与透明有机材料相互作用，在其表面和内部进行了刻画微光器件的应用研究。理论分析得到飞秒激光参数、平台移动速度对线宽的影响,实现了数据的三维存储和一维光波导的试验，在透明有机材料

高等学校博士学科点专项科研基金（20030056021）

天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室,天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室,天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室,天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室,天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室,天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室

#物理学#

飞秒激光经微透镜阵列在石英中成丝的控制研究

刘旭,CAMINO Acner,郝作强,林景全

2013-03-21

使用周期性微透镜阵列对飞秒激光聚焦后在熔融石英中形成的细丝进行了研究。研究表明，通过改变微透镜阵列和石英介质的相对距离, 可以实现细丝的数量及其排布的控制，实验结果和使用射线追踪程序模拟的结果符合

高等学校博士学科点专项科研基金（Nos. 20122216120009）

长春理工大学理学院，长春 130022,长春理工大学理学院，长春 130022,长春理工大学理学院，长春 130022,长春理工大学理学院，长春 130022

#物理学#

飞秒激光制备多包层光波导及其荧光和拉曼性质的研究

何瑞云,路庆明,Javier R. Vázquez de Aldana2,Daniel Jaque,Airán Ródenas,陈峰

2016-06-03

飞秒激光微加工是近年来新兴的一种光波导制备方法。本文采用飞秒激光微加工技术，在钕离子掺杂的钆镓石榴石晶体中制备了一种新型的多包层光波导结构。研究了该光波导的微荧光和微拉曼性质。结果表明，波导区域很好

高等学校博士学科点专项科研基金（优先发展领域）（20130131130001）

山东大学物理学院，济南 250100,山东大学化学与化工学院，济南 250100,萨拉门卡大学理学院，萨拉曼卡 37008,马德里自治大学理学院，马德里 28049,罗维拉-威尔吉利大学理化学院，塔拉戈纳 43007,山东大学物理学院，济南 250100

#物理学#

Gold-film coating assisted femtosecond laser fabrication of large-area, uniform surface micro/nanostructures

FENG Pin,JIANG Lan,LI Xin,RONG Wenlong,ZHANG Kaihu,CAO Qiang

This paper reports a simple, repeatable approach to fabricate large-area, uniform micro/nanostructures by a femtosecond laser. Specially, 20 nm gold films are coated on semiconductor surfaces on which large-area, uniform micro/nanostructures are fabricated by a femtosecond laser. In the case study of silicon, defects and cross-links are significantly reduced in the laser induced surface structures on Au-coated silicon. The good consistency between the scanning lines facilitates the formation of large-area, uniform surface micro/nanostructures. The diffusion of hot electrons in the Au films increases the interfacial carrier densities, which significantly enhances interfacial electron-phonon coupling. High and uniform electron density suppresses the influence of defects on silicon and further makes the coupling field more uniform and thus reduce the impact of laser energy fluctuations, which homogenizes and stabilizes large-area surface micro/nanostructures. In addition, the proposed new approach might exhibit potential applications, especially in the absorption enhancement of materials surfaces, high surface-enhanced Raman scattering and generation of functional surfaces with hydrophobic wetting behaviors.

2014-11-13

National Natural Science Foundation of China （NSFC)）

Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, School of Mechanical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081,Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, School of Mechanical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081,Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, School of Mechanical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081,Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, School of Mechanical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081,Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, School of Mechanical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081,Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, School of Mechanical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081

#Mechanical Engineering#

飞秒激光贝塞尔光束辐照辅助化学刻蚀加工多环微结构

王智,李晓炜,谢乾

2017-05-10

Si表面微纳结构在许多领域都具有广泛的应用，利用飞秒激光贝塞尔光束的多环状横向能量分布特点，可实现对硅片进行多同心圆环状的材料改性，之后利用HF水溶液对激光辐照改性后的硅选择性刻蚀去除，可形成多

高等学校博士学科点专项科研基金（20131101120018）

北京理工大学机械与车辆学院激光微纳制造实验室，北京 100081,北京理工大学机械与车辆学院激光微纳制造实验室，北京 100081,北京理工大学机械与车辆学院激光微纳制造实验室，北京 100081

#机械工程#