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陈弟虎
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期刊论文
非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究
无机材料学报，2000，15（1）：179～183，-0001，（）：
摘要/描述
碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数，采用磁过滤真空溅射离子技术，研究不同衬底偏压Vb（即不同碳离子能量）下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌，结果表明：-50V≤Vb≤-10V时，样品表面均匀、光滑，拉曼谱是对称且很宽的散射带；K>-10V或Vb<-50V时，已有晶团出现，表面粗糙度明显增加，拉曼谱明显地分裂为1580cm-1的G带和1350cm-1的D带。
【免责声明】以下全部内容由[陈弟虎]上传于[2009年04月12日 17时19分01秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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