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陈弟虎
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期刊论文
掺氮四配位非晶碳薄膜的拉曼光谱和表面形貌
人工晶体学报，2000，29（3）：240～244，-0001，（）：
采用磁过滤真空溅射离子沉积技术，用氩气和氮气共溅射石墨靶，在不同氮气分压下，制备了一组不同氮含量的四配位非晶碳薄膜（ta-C∶N）。用X射线光电子能谱确定ta-C∶N薄膜中的氮含量；研究了氮含量对ta-C薄膜的拉曼光谱和表面形貌的影响。结果表明：不含氮的ta-C薄膜的拉曼光谱是中心在1580cm-1、范围从1200cm-1至2000cm-1的类高斯峰，表面均匀光滑；含氮的ta-C∶N薄膜，其拉曼光谱分裂为1360cm-1的D带和1580cm-1的G带，且D带与G带的最大强度比，以及薄膜的表面粗糙度随氮含量的增加而增大。最后讨论了氮含量对ta-C薄膜的微结构的影响。
【免责声明】以下全部内容由[陈弟虎]上传于[2009年04月12日 17时20分42秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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