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陈福深

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期刊论文

X切LiNbO3脊形结构集成电光M-Z型调制器

陈福深李其聪

中国激光,2002,29(3):209~212,-0001,():

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摘要/描述

采用X切LiNbO3基片,设计并研制了脊形结构集成电光Mach-Zehnder(M-Z)波导调制器,实验研制过程包含关键的LiNbO3基片湿腐蚀刻槽技术和大厚度电极制作技术。研究结果表明,脊形结构调制器与传统的平面结构调制器相比,在大幅度提高调制带宽方面,有着明显的优越性。

【免责声明】以下全部内容由[陈福深]上传于[2009年05月18日 14时58分26秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。

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