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程凯
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期刊论文
非传统的制造技术: 基于SPM的纳米加工技术
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摘要/描述
基于SPM的纳米加工是一种新兴的先进制造技术，是一种非传统的加工方法。本文在综述了近年来基于SPM纳术加工技术的发展状况基础上，介绍了我们近期在这方面的研究工作。我们采用SPM中的AFM：M。结合金刚石针尖，母究了核聚变激光靶球微充气孔的加工工艺及脆性材料单品锗的加工特性。并且我们还将AFM与精密工作台相结台，建立了一套微加工系统。用来加工微结构和微小零件。提供其一种加工二维及三维微小结构的方法。这种方法解决了其 它微纳米加工方法无法解决或难于解决的问题。是一种很有发展前的先进制造技术。
【免责声明】以下全部内容由[程凯]上传于[2005年10月11日 22时22分09秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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