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程凯
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期刊论文
基于SPW的纳米加工技术研究进
机械工程学报，2003，39（9）：38～43，-0001，（）：
摘要/描述
扫描探针显微镜（SPM）使人们不仅可以观察到物质表面的微观形貌。还可以微纳米尺度上对样品表面进行加工。这种方法有可能成为未来微纳米器件的主要制作方法，成为推动人类科学和技术发展的新动力。主要介绍基于SPM的三种纳米加工方法：单原于操纵法、阳极氧化法和机械刻蚀法。详细阐述了各自的原理、特点投发展状况，并指出阳捱氧化法是目前最有可能应用在实际生产制造中的加工方法。而机械刻蚀法对不仅可以作为纳米加工的手段，还可以应用于纳米加工机理方面的研究。
【免责声明】以下全部内容由[程凯]上传于[2005年10月11日 22时25分05秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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