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程凯
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期刊论文
基于AFM的微结构加工实验研究
电子显微学报，2003，22（3）：199～201，-0001，（）：
摘要/描述
本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统，在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验，与SPM系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析，得出这个系统适合微结构的加工；并给出了采用该方法加工的圆面及多边形面微结约；还分析了金刚石会尖几何角度及SPM和工作台的相关参参数对加工的影响。
【免责声明】以下全部内容由[程凯]上传于[2005年10月11日 22时26分05秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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