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陈林森
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期刊论文
具有存储功能的衍射图像光刻系统的研制*
光学学报，2005，25（3）：392～395，-0001，（）：
摘要/描述
研制了一种在衍射光变图像器件上进行信息存储的新型数字化激光光刻系统。采用空间光调制器作图形自动输入，双远心投影成像系统在光刻记录面上缩微图形。通过光栅干涉光学头对记录面上的微图形进行干涉调制，使微图形上产生干涉条纹，条纹空间频率范围为500～1200lp/mm。在光刻胶干版上的存储实验表明，在衍射光变图像上的单角度存储信息密度大于3.7Mbit/cm2。改变干涉条纹取向、条纹间隔和需要存储的图形，光刻系统可实现信息的旋转复用存储。上述光刻系统将会在防伪和衍射光变图像器件制造领域有良好应用。
【免责声明】以下全部内容由[陈林森]上传于[2009年08月31日 12时57分49秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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