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陈林森
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期刊论文
一种二元整形元件激光直写方法的实验研究*
光子学报，2005，34（3）：346～349，-0001，（）：
摘要/描述
为了实现具有复杂位相结构的二元光束整形元件，提出了采用方光点的激光直写系统来逐点光刻浮雕位相结构的方法，通过双远心投影缩微光路获得5～20μm方点，光点尺寸对应于最小位相单元，从而获得了位相结构的高质量直写1 分析了高斯光点和方光点位相单元结构对二元整形元件衍射效率的影响，方形两台阶二元整形元件的+1级衍射效率达到31%，给出了实验结果。
【免责声明】以下全部内容由[陈林森]上传于[2009年08月31日 13时00分14秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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