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陈文元
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期刊论文
基于MEMS的微泵研究进展
微纳电子技术革，2004（5）：33～40，-0001，（）：
摘要/描述
基于微加工技术的微流体系统是微机电系统（MEMS）的一个重要分支，可广泛应用于航空航天、生物、医学、化工、电子等领域。本文主要综述了微流体系统中的微型泵结构、工作的原理以及国内外研究现状。
【免责声明】以下全部内容由[陈文元]上传于[2005年05月26日 17时10分02秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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