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期刊论文
关于微硅机械加速度计表头设计的几个问题
《测控技术》,2002,21(12):7~10,-0001,():
由于负刚度等特殊问题,使叉齿式微硅机械加速度计的闭环控制区别于常规闭环系统,并且负刚度较大地影响微加速度计工作稳定性。为此对加速度计的表头结构设计方法及理论公式进行了研究,推导出了在给定性能参数下,设计加速度计表头最小分辨率、最大量程的方法和理论计算公式。根据上述方法设计能更好地保证加速度计的工作稳定性。
【免责声明】以下全部内容由[董景新]上传于[2011年04月18日 10时11分59秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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