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郭东明
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期刊论文
超大规模集成电路制造中硅片平坦化技术的未来发展*
机械工程学报，2003，39（10）：100～105，-0001，（）：
摘要/描述
在集成电路（IC）制造中，化学机械抛光（CMP）技术在单晶硅衬底和多层金属互连结构的层间全局平坦化方面得到了广泛应用，成为制造主流芯片的关键技术之一。然而，传统CMP技术还存在一定的缺点或局限性，人们在不断完善CMP技术的同时，也在不断探索和研究新的平坦化技术。在分析传统CMP技术的基础上，介绍了固结磨料CMP、无磨料CMP、电化学机械平坦化、无应力抛光、接触平坦化和等离子辅助化学蚀刻等几种硅片平坦化新技术的原理和特点以及国内外平坦化技术的未来发展。
【免责声明】以下全部内容由[郭东明]上传于[2005年03月04日 00时13分25秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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