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郭彤
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期刊论文
利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征
计量学报2007年10月第28卷第4期/ACTA METROLOGICA SINICA Vol. 28, No.4, October 2007，-0001，（）：
摘要/描述
描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法，它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法，利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价。结果表明，该方法具有无损、快速和易于在晶片上进行的特点。系统测量的精度在纳米量级，重复性在亚纳米量级。
【免责声明】以下全部内容由[郭彤]上传于[2008年04月15日 15时17分13秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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