提示
郭彤
-
49浏览
-
0点赞
-
0收藏
-
0分享
-
207下载
-
0评论
-
引用
期刊论文
利用微运动分析仪研究MEMS器件的运动特性
光电子·激光2006年4月第17卷第4期/Journal of Optoelectronics·Laser Vol.17, No.4, Apr. 2006，-0001，（）：
介绍了一种计算机控制的微运动分析仪(MMA)，用来研究微机电系统(MEMS)中可动部件的运动特性。它采用了2种光学无损测量方法：计算机微视觉方法用于面内运动测量；相移干涉方法用于离面运动测量。这个高度集成的系统包括了高性能成像系统、驱动电路、数据采集和分析软件。MMA利用频闪照明方法冻结器件的快速运动，可以测量1Hz～10MHz频率的三维运动特性，达到了nm级分辨力。通过研究一个微加工多晶硅微谐振器的运动特性来说明MMA的强大功能。
【免责声明】以下全部内容由[郭彤]上传于[2008年04月15日 15时17分27秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
本学者其他成果
同领域成果
