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郭彤
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期刊论文
利用频闪成像方法进行微机电系统的计量
计量学报2005年10月第26卷第4期/ACTA METROLOGICA SINICA Vol.26, No. 4, October 2005，-0001，（）：
为了实现MEMS器件的计量，一个基于频闪成像原理的MEMS动态测试平台被构建，用于在全频率、相位和电压输入范围内表征器件的全三维运动。系统利用高亮度LED和LD作为脉冲光源，有效冻结MEMS器件的面内和离面运动，能在从静止状态到1MHz很宽的频率范围内对MEMS器件进行表征，达到了纳米级分辨力。通过实验对一个微谐振器进行了三维运动测量，在扫频和扫幅两种工作模式下，配合强大的数据分析软件，给出器件运动的幅频和相频特性曲线，为分析器件的动态性能提供了可靠数据。
【免责声明】以下全部内容由[郭彤]上传于[2008年04月15日 15时17分46秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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