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郭彤
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期刊论文
大气状态下SPM纳米加工系统的开发
中国机械工程2003年1月上半月第14卷第1期/CHINA MECHANICAL ENGINEERING Vol.14, No.1, 2003 the first half of January，-0001，（）：
摘要/描述
对现有的商业化SPM进行了一些必要的改造，使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在DI公司多功能SPM基础上开发纳米加工系统的可能性，并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法，实现了矢量式的纳米氧化加工，得到了30nm宽的氧化结构，为下一步进行纳米电子器件的构建奠定了基础。
【免责声明】以下全部内容由[郭彤]上传于[2008年04月15日 15时18分25秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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