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郭彤
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期刊论文
采用差分相位测量方法的MEMS运动表征系统
电子·激光2007年11月第18卷第11期/Journal of Optoelectronics·Laser Vol.18, No.11, Nov.2007，-0001，（）：
摘要/描述
介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统，用于测量可动微机电系统(MEMS)器件的离面运动，实现了nm级分辨力。系统采用五步相移高精度干涉测量方法，通过选择器件上的固定点作为参考点，实现差分测量模式，有效消除了随机误差的影响，提高了系统测量的重复性，10次测量的重复精度为3.17nm。通过研究微谐振器的离面运动特性，说明该系统的强大功能。
【免责声明】以下全部内容由[郭彤]上传于[2008年04月15日 15时18分59秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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