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期刊论文
SPM电场加工纳米结构的评价方法
天津大学学报2004年8月第37卷第8期/Journal of Tianjin University Vol.37, No.8, Aug.2004,-0001,():
纳米结构形状特征及其相关参数的评价是扫描探针显微镜(SPM)加工面临的一个主要问题。文中对原子力显微镜(AFM)电场诱导硅氧化结构的部分形状特征进行了分析和讨论。借助传统评价方法,结合纳米加工实际,提出了几个评价参数,并用于SPM加工方法的评价中,其中加工线宽是一个关键参数。与加工线宽相关的参数还包括直线度、线平行度、垂直度、倾斜度、加工高度及纵横比等。通过对AFM加工生成的线结构进行评价,说明了该方法的可行性。
【免责声明】以下全部内容由[郭彤]上传于[2008年04月15日 15时19分16秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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