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期刊论文
InP基一镜斜置三镜腔型光电探测器理论分析及实验研究
中国激光,2005,32(8):1045~1049,-0001,():
介绍了一种新型长波长InP基一镜斜置三镜腔型(0MITMiC)光电探测器,并对其进行了数值模拟。介绍了该光电探测器的两项关键制备工艺。首先,利用动态掩膜湿法腐蚀技术,通过调节HCl:HF:CrO3腐蚀溶液的选择比,在与InP晶格匹配的In0.72Ga0.28As0.6P0.4外延层上制备出了不同倾角的楔形结构。其次,利用选择性湿法腐蚀技术,通过FeCl3:H2O溶液对In0.58Ga0.47As牺牲层的腐蚀,制备出了具有InP/空气隙的高反射率分布式布拉格反射镜(DBR)。
【免责声明】以下全部内容由[黄辉]上传于[2010年01月14日 19时45分56秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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