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黄辉
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期刊论文
新型长波长InP基谐振腔增强型光探测器
中国激光，2004，31（12）：1487～1490，-0001，（）：
介绍了一种新型长波长InP基谐振腔增强型（RCE）光探测器。通过V（FeCl2）3，（H2O）溶液对InGaAs牲层的选择性湿法腐蚀，制备出具有InP/空气隙的高反射率分布布拉格反射镜（DBR），并将该选择性湿法腐蚀技术成功地应用到长波长InP基谐振腔增强型光探测器的制备中去，从而彻底解决了InP/InGaAsP高反射率分布布拉格反射镜难以外延生长的问题。所制备出的谐振腔增强型光探测器，其台面面积为50um×50um，底部反射镜为1.5对的InP/空气隙分布布拉格反射镜，顶部反射镜靠InGaAsP与空气的界面反射来实现。测试结果表明，该谐振腔增强型光探测器在波长1.510um处获得了约59%的峰值量子效率，在3 V反偏压下暗电流为2nA，3dB响应带宽达到8GHz。
【免责声明】以下全部内容由[黄辉]上传于[2010年01月14日 19时45分04秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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