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黄楠

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期刊论文

Synthesis of nitrogen incorporated carbon films by plasma immersion ion implantation and deposition

黄楠F. Wen N. Huang* H. Sun J. Wang Y.X. Leng

Surface & Coatings Technology 186(2004)118-124,-0001,():

URL:

摘要/描述

Nitrogen incorporated carbon films were synthesized using plasma immersion ion implantation and deposition at room temperature. Nitrogen partial pressure was varied from 1.0

版权说明:以下全部内容由黄楠上传于   2005年03月04日 17时31分27秒,版权归本人所有。

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