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胡晓东

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期刊论文

复杂微结构三维形貌测量方法的研究

胡晓东胡春光徐临燕郭彤胡小唐

光电子·激光,2006,1(1):98-101,-0001,():

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摘要/描述

微结构三维形貌测量是研究微加工工艺和微尺寸特性的重要测试内容。本文提出一种基于相移显微干涉术、利用干涉囹建立二维结构模板指导相位展开的新方法,它不仅适用于静态测量,而且能应用于在动态测量中,特别是微机电系统(MEMS)器件的运动测量。以微谐振器为测试器件,对其运动梳齿结构进行了静态三维形貌测量,实验的离面理论测量精度优于0.5nm,测试结构内部的面内理论测量精度优于0.5m,而边缘尺寸因受到边缘提取方法的影响,其测量精度仅在m量级。对该方法的缺点和发展方向做了探讨。

版权说明:以下全部内容由胡晓东上传于   2009年06月17日 16时01分44秒,版权归本人所有。

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