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江平宇
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期刊论文
基于Top-down设计理念的微器件三维特征建模工具的研究
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摘要/描述
本文以微器件模型设计为研究任务，基于MEMS Top-down设计理念，对微器件特征建模工具进行了深入的理论研究和原型系统的开发。在基于微制造过程的基础上总结微器件形状特征，建立微器件特征库，提出了基于层设计思想的微器件特征模型建立方法，实现特征建模工具原型系统的开发，并选取悬臂梁、变流器和微流体单向阀装置验证了系统的实用性和正确性。
【免责声明】以下全部内容由[江平宇]上传于[2004年12月31日 20时32分22秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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