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江平宇

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期刊论文

基于Web的键合图法MEMS系统级多能量域仿真平台

江平宇刘旸

《系统仿真学报》,2005(2):1~13,-0001,():

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摘要/描述

本文通过对MEMS系统级仿真方法的研究,讨论了运用键合图法进行MEMS系统级多能量域仿真的可行性,提出了一种采用键合图/模拟框图混合表示进行MEMS动特性仿真的方法,并在该方法的基础上开发了一套基于功率键合图的MEMS系统级多能量域仿真软件平台xj_Bond。同时一个基于键合图多通口场与结型结构的微元件库(包括梁、质量块、连接点、静电叉指等微元件)也在该仿真平台上得以实现,从而更好的支持了MEMS“Top Down”设计流程,并为系统快速建模提供了方便。最后通过一个多能量域MEMS系统仿真实例对该平台的有效性进行了验证。

【免责声明】以下全部内容由[江平宇]上传于[2004年12月31日 20时31分35秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。

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