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李莉
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期刊论文
半导体生产线批加工设备调度规则
系统仿真学报2006年9月第18卷第9期/ Journal of System Simulation Vol.18, No.9, Sept.,2006，-0001，（）：
批加工设备调度是半导体生产线调度的重要组成部分，对半导体生产线性能有重要影响。在综述批加工设备调度研究成果的基础上，提出了同时考虑即将到来工件与下游设备负载情况的半导体生产线批加工设备调度规则(Scheduling Rule for Batch Processing Machines in Semiconductor Wafer Fabrication Facilities，SRB)。基于三种不同规模的半导体生产线模型，在非批加工设备使用不同的调度规则的情况下，对提出的SRB进行了仿真验证。仿真结果表明，与目前常用的固定加工批量调度规则相比，SRB能够更好的改善半导体生产线性能，获得较高的工件移动步数、产量和准时交货率，以及较低的加工周期。
【免责声明】以下全部内容由[李莉]上传于[2008年04月28日 11时09分24秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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