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刘凯
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期刊论文
微电子机械系统尺寸效应的泛函分析*
机械设计，2004，21（2）：17～19，-0001，（）：
摘要/描述
尺寸效应涉及微电子机械系统研究领域的各个方面，在分析归纳微器件或系统中尺寸对其特性影响的基础上，提出从纯尺寸因素和非尺寸因素综合考虑尺寸效应，建立了一个尺寸效应的基本数学模型，并从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面对该数学模型进行泛函分析，总结出一些尺寸效应的发生规律。
【免责声明】以下全部内容由[刘凯]上传于[2009年11月19日 13时51分30秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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