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卢桂章
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期刊论文
基于部件库的MEMS设计方法
，-0001，（）：
摘要/描述
针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题，提出了基于部件库的MEMS设计方法；介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术。完成了各关键技术的攻关，并建立了一个原形系统。
【免责声明】以下全部内容由[卢桂章]上传于[2005年03月11日 22时08分06秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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